仪器名称：     集束型薄膜沉积系统（Cluster）   仪器型号：Cluster-4X100

产地：                   浙江嘉兴                               生产厂家：嘉兴科民电子

购买日期：            2023/12/1                            分类标签：材料制备

联系人：                  于慧慧                                 联系电话：010-62334725

放置地点：          鼎新楼A座521

主要规格及技术指标：

1. 整体结构：包含物理气相沉积、原子层沉积、热蒸发、真空喷镀、中央真空传输及控制系统各 1 套。

2. 磁控溅射系统：配备3英寸无压环靶材靶枪及射频电源；适用于4英寸晶圆，极限真空＜5E-3Pa；薄膜沉积不均匀性≤±5%，沉积行程可调。

3. 原子层沉积系统：适用于4英寸晶圆，极限真空＜0.01torr；Al₂O₃沉积不均匀性≤±2%，衬底加热 50-300℃；配备 4 路液态前驱体源系统。

4. 热蒸发系统：适用于4英寸晶圆，极限真空＜5E-3Pa；沉积不均匀性≤±10%，衬底加热50-200℃；配备3个蒸发源（加热温度≥300℃），可蒸发碘甲胺。

5. 喷镀系统：适用于4英寸晶圆，极限真空＜0.01Torr；沉积不均匀性≤±10%，衬底加热50-200℃；配备1个喷镀源（加热 50-300℃），可喷镀 MAPbI₃。

6. 中央传输系统：采用全真空旋转传输结构，自动化传输硅晶圆（无需开腔、手动操作）；可装载4片4英寸及以下器件，传输腔极限真空＜5E-6torr；各工艺系统间传输时间＜10s。

主要功能及特色：

集束型薄膜沉积系统可在全真空环境下完成磁控溅射、原子层沉积、热蒸发、喷镀等多种薄膜工艺，分别用于制备金属薄膜、无机半导体

传输层、有机传输层及钙钛矿层。配备的中央真空传输系统采用旋转传输结构，能在真空环境下快速传输硅晶圆，实现钙钛矿薄膜太阳能

电池全真空制备，避免功能层工艺间接触大气产生界面问题。