仪器名称：         吸附反应外延系统（ARE）             仪器型号：ARE-200

产地：                        浙江嘉兴                                生产厂家：嘉兴科民电子

购买日期：                2023/12/1                              分类标签：材料制备

联系人：                       于慧慧                                 联系电话：010-62334725

放置地点：              鼎新楼A座521

主要规格及技术指标：

1. 整体结构：包含吸附反应外延腔室、前驱体源系统、真空系统、控制系统、预真空腔室各 1 套。

2. 吸附反应外延腔室：适用于4英寸基片，采用内外双腔结构（标配两套内腔）；外腔有快速高温及整体辐射加热装置，可加热内腔及样品台；内腔为可拆卸微型反应腔≤4英寸，含独立加热及背冷系统；反应温度≤500℃，快速外延温度≤900℃，真空环境下 300℃至 600℃升温时间＜1min。

3. 前驱体源系统：2 路可加热 MO 前驱体直通液态源、1 路非金属直通源、2 路鼓泡前驱体源（均配置响应时间＜10ms 的隔膜阀等，源瓶及管路加热 RT-200℃，控制精度 ±1℃）；内置氧气源臭氧发生器，预留 1 路特气接口；两路载气由原装进口流量计控制，管路采用 316L+VCR 密封，具备在线清洗功能。

4. 真空系统：整机极限真空＜5E-6Torr，真空漏率＜5E-7 Pa・L/S；配置工艺干泵（抽速≥100m³/h）+ 本底分子泵；真空泵前级设热阱（加热最高 500℃，控制精度 ±1℃）。

主要功能及特色：