仪器名称：      金属有机化学气相沉积系统               仪器型号：CCS MOVPE System

产地：                            英国                                 生产厂家：AIXTRON

购买日期：                  2024/1/1                             分类标签：材料制备

联系人：                       于慧慧                                 联系电话：010-62334725

放置地点：                  测试楼115

主要规格及技术指标：

1. 腔体可一次性放置19片2英寸或1片8英寸衬底；

2. 配备有7路MO源，分别是六羰基钨二叔丁基硫化物、六羰基钼，1x 二异丙基硒、Borazine和2路预留源；

3.配备有4路氢化物源，分别是Borazine、CH4、2路H2S和1路预留

4.七路MO源带有浓度仪；

5.具有晶片表面温度监控能力；

6.高温反应室，晶片表面温度可达1400摄氏度

7.配备原位生长监控装置，测温范围450-1400℃，测温精度优于1K

主要功能及特色：

主要用于2英寸、8英寸二维MoS2、WSe2、BN、Graphene的批量化生产