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热发射显微镜

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热发射显微镜

热发射显微镜

仪器编号:登录后查看

所属平台: 其他

仪器状态:

所属单位: 浙江大学 > 工程师学院 > 信息与微电子平台 > 微电子实验室

仪器生产商: semishare

购置日期: 2018-04-12

使用模式: 送样预约,自主预约

规格型号: ICS-1000PEM,EMMI semishare

放置地址:318

仪器管理员:刘冬

联系电话:登录后查看

工作时间: 09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段: 0.5 小时
最大可预约时间段: 168 小时
日历最小单位: 0.5 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时; 普通资格用户: 24小时; 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间: 初级: 720 小时 0 点; 普通: 720 小时 0 点; 资深: 720 小时 0 点
最大有效预约次数: 5 次/天
无代价撤销预约时间: 1440 分钟
仪器介绍: 热成像缺陷定位;真实温度分布;结温测量;芯片粘结评估;热阻评估;缺陷深度分析。
主要参数: 定位在半导体器件上的故障;检测到1mK(0.001°C)以下的热点;检测到消耗低于100μW的短路及漏电缺陷
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